Автоматическая система совмещения и экспонирования ABM FA

Автоматическая система ABM/6/350/NUV/DCCD/FA применяется для совмещения пластины/подложки и фотошаблона по лицевой стороне с последующим экспонированием фоторезиста. Модель обеспечивает автоматическу. загрузку пластин, автоматическое совмещение и экспонирование. Возможны различные режимы экспонирования. Более подробно о модели: #фотолитография #микроэлектроника #экспонирование