Планарная технология. Основные понятия и принципы. Виды литографии. Лекция 2.7 | eNANO | Лекториум

Планарная технология. Основные понятия и принципы. Виды литографии. Лекция 2.7, Курс: Наноэлектроника, Лектор: Михаил Путря, Организаторы: Электронное образование для наноиндустрии (eNANO) Смотрите это видео на Лекториуме: Термин «наноэлектроника» связан с термином «микроэлектроника» и отражает переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в субмикронной области к наноразмерным. В работе элементов таких размеров начинают преобладат