Кремниевые преобразователи давления

Наряду с традиционными манометрическими и механическими устройствами измерения давления значительное распространение в последние годы получили полупроводниковые преобразователи давления. Их принцип действия основан на изменении удельного объемного сопротивления полупроводника при деформировании давлением. Для измерения давления чистых неагрессивных сред применяются, так называемые, Low cost — решения, основанные на использовании чувствительных элементов либо без защиты, либо с защитой силиконовым гелем. Для измерения агрессивных сред и большинства промышленных применений используется преобразователь давления в герметичном металло-стеклянном корпусе, с разделительной диафрагмой из нержавеющей стали, передающей давление измеряемой среды посредством кремнийорганической жидкости. Другим вариантом кремниевых преобразователей давления являются кремниевые ёмкостные первичные преобразователи давления и преобразователи, выполненные с использованием упругой металлической мембраны. При изменении давления мембрана с электродом деформируется, и происходит изменение емкости. В элементе из керамики или кремния пространство между обкладками обычно заполнено маслом или другой органической жидкостью. Недостаток подобных датчиков – нелинейная зависимость емкости от приложенного давления. Интегральное исполнение кремниевых преобразователей давления сделала доступным и надежным прибор, позволяющий при невысокой цене произвести точные измерения.